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ICP發射光譜儀的RF發生器通過工作線圈給等離子體輸送能量，維持ICP光源穩定放電，目前ICP的RF發生器主要有兩種震蕩類型，即自激式和它激式。
.1、自激式RF發生器
自激式RF發生器又稱自由振式RF發生器，它有整流電源、振蕩回路和電子管功率放大器三部分組成。
整流電源是由三相電源經升壓、三相全波整流及L、C濾波提供電子管功率放大器所需的直流高壓（3千伏）。
其振蕩回路是由一個電容和一個電感組成的并聯回路，當有外加電源時，回路內將產生振蕩信號，回路能量交替地儲存在電容和電感上。當回路中電阻很小時，即 R< 2（L/C）1/2，其振蕩頻率為：f=1/{2p（L/C）1/2 }。
由于回路電阻的存在，每次振蕩總要消耗部分能量，使振蕩受到阻尼，為了維持等輻振蕩，并保持一定的輸出功率，使用電子管功率放大器，把L-C振蕩回路的信號正反饋一部分供給放大器的柵極，經功放后再輸出給L-C回路，這樣L-C回路不斷地從放大器取得能量，除反饋一部分外，大部分能量用電感耦合方式供給等離子體，從而維持穩定的等輻振蕩和功率輸出。信號正反饋的形式國外多采用電容反饋型，而國內生產的則多采用電感反饋型。
自激式振蕩器的主要特點是結構簡單、價格低廉、制造調試比較容易，在技術指標上能基本滿足光譜分析要求，但其主要的缺點是頻率穩定性及功率穩定性較差，這主要是由于等離子體負載是作為振蕩回路的一部分，負載的改變將影響L-C振蕩器的頻率及回路的工作狀態。
2、它激式RF發生器
它激式RF發生器又稱晶體控制型RF發生器，它與自激式不同，它是利用石英晶體的壓電效應構成振蕩器也取代L-C振蕩回路的電容、電感元件。
將石英晶體按一定方位角切制成一塊正方形（或長方形或圓形）簿片，在晶片的兩個對應表面上噴涂金屬板，就可構成石英晶體振蕩器。當晶體片上加上一個電場，就會使晶片發生機械形變，相反，在晶體片上加一個機械力又會在相應的方向上產生電場，這種現象稱石英晶體的壓電效應。若在晶片上下的金屬板上施加變電壓，就會產生相應的機械形變，即機械振動，通常情況下，這種形變振幅很小，當外加交變電壓為某一特定頻率時，振幅會突然嗇，這種現象為壓電諧振，這一頻率稱為晶體的諧振頻率，它和晶體的尺寸有關。
在它激式振蕩器中，常應用一個頻率為27.12MHz或40.68MHz的石英晶體振蕩器作為振源，經過兩級功率放大，就可得到27.12MHz或40.68MHz，2.0Kw的輸出信號。通過匹配網絡和同軸電纜傳輸到負載線圈上。這類發生器頻率穩定度高，耦合效率好，功率輸出易于自動控制，但放電回路的電學特性的任何微小變化，會導致阻抗失配，需調節至最佳匹配，儀器線路比較復雜，成本較高，但性能較好。
ThermoElemental公司的的ICP均采用晶體控制型RF發生器，其結構框圖如下：
晶體控制型RF發生器的高功率輸出采用多級放大后才獲得，它包括：
1) RF源放大：由石英晶體振蕩器（27.12MHz）和放大電路組成，受來自AGC（自動增益控制）的反饋電壓和計算機給定的控制，其輸出是穩定的、最大功率為3w的高頻信號。
2) RF驅動放大：它介于源放大和功率放大之間，其作用是放大RF源放大級的高頻信號，以驅動功率放大器，并隔絕源振蕩器以改善穩定性，驅動放大級的最大輸出功率為65w。
3) RF功率放大：它主要由大功率電子管（3cx1500A）來實現高頻信號的進一步放大，并通過工作線圈把RF功率耦合到等離子體上。功率放大級的最大輸出功率可達2Kw。
4) 匹配網絡：在以上各級放大器之間均存在阻抗匹配網絡，是為RF功率在各級間傳輸中獲得最高的效率。其中功率放大級的輸入、輸出匹配網絡十分重要，輸入匹配采用Л型匹配電路，如右圖調整匹配電容Cl和C2，使輸入功率放大級的反射功率幾乎為零。輸出匹配為自動匹配（Auto-Turning），自動跟蹤等離子體負截的變化，使等離子體始終獲得最高的功率傳輸效率。
5) 自動增益控制（AGC）：它的作用是自動調整整個RF發生器的放大倍數，不管等離子體的阻抗以及等離子體與負載線圈耦合有何變化，始終保證等離子體的功率恒定不變。AGC同時又受計算機控制，以實現RF功率的計算機控制。
6) 工作線圈：工作線圈的作用是把RF發生器的高頻能量，耦合到等離子體。由于高頻電流傾向于在導體表面流動（即趨膚效應），工作線圈是由2.5圈鍍銀外層的空心銅管制成，內通冷卻水冷卻。為了防止其表面腐蝕或匝間高壓放電，工作線圈外套一層四氟乙烯。
7) 電源系統（POWER UNIT）：為RF發生器提供各種電源，包括：+5V、+12V、±15V、+48V、+3800V和120V AC。其中+48V提供給RF驅動放大， +3800V提供給RF功率放大。該電源系統具有各種保護，并通過其電源控制單元（Power Unit Control）實現與整個儀器的通訊和控制。
3、固態式RF發生器
固態式RF發生器是用一組固態場效應管（一般是十幾只配對）來替代經典RF發生器中的大功率電子管，以獲得大功率高頻能量輸出。固態式RF發生器具有更小的體積，有利于儀器的小型化。國產ICP發射光譜儀中北京華科天成科技公司的ICP光譜儀產品也采用了固態式RF發生器
