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ICP光譜法是上世紀60年代提出、70年代迅速發展起來的一種分析方法，它的迅速發展和廣泛應用是與其克服了經典光源和原子化器的局限性分不開的，與經典光譜法相比它具有如下優點：
1. 因為ICP光源具有良好的原子化、激發和電離能力，所以它具有很好的檢出限。對于多數元素，其檢出限一般為0.1～100ng/ml。
2. 因為ICP光源具有良好的穩定性，所以它具有很好的精密度，當分析物含量不是很低即明顯高于檢出限時，其RSD一般可在1%以下，好時可在0.5%以下。
3. 因為ICP發射光譜法受樣品基體的影響很小，所以參比樣品無須進行嚴格的基體匹配，同時在一般情況下亦可不用內標，也不必采用添加劑，因此它具有良好的準確度。這是ICP光譜法最主要的優點之一。
4. ICP發射光譜法的分析校正曲線具有很寬的線性范圍，在一般場合為5個數量級，好時可達6個數量級。
5. ICP發射光譜法具有同時或順序多元素測定能力，特別是固體成像檢測器的開發和使用及全譜直讀光譜儀的商品化更增強了它的多元素同時分析的能力。
6. 由于ICP發射光譜法在一般情況下無須進行基體匹配且分析校正曲線具有很寬的線性范圍，所以它操作簡便易于掌握，特別是對于液體樣品的分析。
ICP發射光譜法除具有上述主要優點外目前尚有一些局限性，主要體現在以下幾個方面：
1. 對于固體樣品一般需預先轉化為溶液，而這一過程往往使檢出限變壞。
2. 因為工作時需要消耗大量Ar氣，所以運轉費用高。
3. 因目前的儀器價格尚比較高，所以前期投入比較大。
4. ICP 發射光譜法如果不與其他技術聯用，它測出的只是樣品中元素的總量，不能進行價態分析。
ICP發射光譜法測定的是樣品中的多種元素，它可以進行定性分析、半定量分析和定量分析，它的定性分析通常準確可靠，而且在原子光譜法中它是唯一一種可以進行定性分析的方法。
ICP發射光譜法的應用領域廣泛，現在已普遍用于水質、環境、冶金、地質、化學制劑、石油化工、食品以及實驗室服務等的樣品分析中。截止到上世紀80年 代初，用ICP發射光譜法就已測定過多達78種元素，目前除惰性氣體不能進行檢測和元素周期表的右上方的那些難激發的非金屬元素如C、N、O、F、Cl及 元素周期表中堿金屬族的H、Rb、Cs的測定結果不好外，它可以分析元素周期表中的絕大多數元素。
ICP發射光譜法是根據處于激發態的待測元素原子回到基態時發射的特征譜線對待測元素進行分析的方法。
ICP發射光譜法包括了三個主要的過程，即：
由plasma提供能量使樣品溶液蒸發、形成氣態原子、并進一步使氣態原子激發而產生光輻射；
將光源發出的復合光經單色器分解成按波長順序排列的譜線，形成光譜；
用檢測器檢測光譜中譜線的波長和強度。
由于待測元素原子的能級結構不同，因此發射譜線的特征不同，據此可對樣品進行定性分析；而根據待測元素原子的濃度不同，因此發射強度不同，可實現元素的定量測定。
優點：
1. 多元素同時檢出能力。
可同時檢測一個樣品中的多種元素。一個樣品一經激發，樣品中各元素都各自發射出其特征譜線，可以進行分別檢測而同時測定多種元素。
2. 分析速度快。
試樣多數不需經過化學處理就可分析，且固體、液體試樣均可直接分析，同時還可多元素同時測定，若用光電直讀光譜儀，則可在幾分鐘內同時作幾十個元素的定量測定。
3. 選擇性好。
由于光譜的特征性強，所以對于一些化學性質極相似的元素的分析具有特別重要的意義。如鈮和鉭、銑和鉿、十幾種稀土元素的分析用其他方法都很困難，而對AES來說是毫無困難之舉。
4. 檢出限低
一般可達0.1～1ug•g－1，絕對值可達10－8～10－9g。用電感耦合等離子體（ICP）新光源，檢出限可低至 數量級。
5. 用ICP光源時，準確度高，標準曲線的線性范圍寬，可達4～6個數量級。可同時測定高、中、低含量的不同元素。因此ICP－AES已廣泛應用于各個領域之中。
6. 樣品消耗少，適于整批樣品的多組分測定，尤其是定性分析更顯示出獨特的優勢。
缺點：
1. 在經典分析中，影響譜線強度的因素較多，尤其是試樣組分的影響較為顯著，所以對標準參比的組分要求較高。
2. 含量（濃度）較大時，準確度較差。
3. 只能用于元素分析，不能進行結構、形態的測定。
4. 大多數非金屬元素難以得到靈敏的光譜線。
5、 因為工作時需要消耗Ar氣，所以運轉費用高。
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ICP 發射光譜法如果不與其他技術聯用，它測出的只是樣品中元素的總量，不能進行價態分析。
原子發射光譜法主要是通過熱激發來獲得特征輻射的，因為分析物原子可以被激發至各個激發態能級，所以在原子光譜中發射光譜的譜線最為復雜，光譜干擾非常嚴重。ICP發射光譜法與采用經典光源的發射光譜法相比，因為只改變了激發光源，提高的只是光源的分析性能，所以光譜干擾的問題依然存在，并且沒有得到任何改善。因此在進行定量分析時往往必須考慮光譜干擾的問題，需要選擇適當的校正方法。
發射光譜譜線多是形成光譜干擾的主要原因，但同時它也為我們提供了豐富的信息，讓我們有了更多的選擇余地，這也是其定性分析之所以準確可靠的原因所在。當我們進行定量分析時，如果我們選用的分析靈敏線被與其他譜線發生了重疊干擾，這時我們就可以重新選擇沒有被干擾的譜線。
