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電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀是指：高頻振蕩器發(fā)生的高頻電流，經(jīng)過耦合系統(tǒng)連接在位于等離子體發(fā)生管上端，銅制內(nèi)部用水冷卻的管狀線圈上。石英制成的等離子體發(fā)生管內(nèi)有三個同軸氬氣流經(jīng)通道。冷卻氣(Ar)通過外部及中間的通道，環(huán)繞等離子體起穩(wěn)定等離子體炬及冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化的作用。工作氣體(Ar)則由中部的石英管道引入，開始工作時啟動高壓放電裝置讓工作氣體發(fā)生電離，被電離的氣體經(jīng)過環(huán)繞石英管頂部的高頻感應(yīng)圈時，線圈產(chǎn)生的巨大熱能和交變磁場，使電離氣體的電子、離子和處于基態(tài)的氖原子發(fā)生反復(fù)猛烈的碰撞，各種粒子的高速運動，導(dǎo)致氣體完全電離形成一個類似線圈狀的等離子體炬區(qū)面，此處溫度高達6000一10000攝氏度。樣品經(jīng)處理制成溶液后，由超霧化裝置變成全溶膠由底部導(dǎo)入管內(nèi)，經(jīng)軸心的石英管從噴咀噴入等離子體炬內(nèi)。樣品氣溶膠進入等離子體焰時，絕大部分立即分解成激發(fā)態(tài)的原子、離子狀態(tài)。當(dāng)這些激發(fā)態(tài)的粒子回收到穩(wěn)定的基態(tài)時要放出一定的能量(表現(xiàn)為一定波長的光譜)，測定每種元素特有的譜線和強度，和標準溶液相比，就可以知道樣品中所含元素的種類和含量。
電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀光源的“點燃”，需具備持續(xù)穩(wěn)定的高純氬氣流，炬管、感應(yīng)圈、高頻發(fā)生器，冷卻系統(tǒng)等條件。樣品氣溶膠被引入等離子體源后，在6,000K～10,000K的高溫下，發(fā)生去溶劑、蒸發(fā)、離解、激發(fā)、電離、發(fā)射譜線。根據(jù)光路采光方向，可分為水平觀察ICP源和垂直觀察ICP源；雙向觀察ICP光源可實現(xiàn)垂直/水平雙向觀察。實際應(yīng)用中宜根據(jù)樣品基質(zhì)、待測元素、波長、靈敏度等因素選擇合適的觀察方式。
