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ICP光譜儀又叫電感耦合等離子體發射光譜儀，由于具有高靈敏度，高精密度，低基體效應和具有同時多元素分析能力等一系列特點，自1975年出現商品儀器以來，很快在各分析領域得到廣泛應用，成為材料、環境、地礦、冶金、食品、化工、生化、商品檢驗及科研領域最通用的無機元素分析工具。ICP光譜儀的結構和技術也在不斷的改進和發展。1991年新的中階梯光柵固態檢測器ICP-OES儀器問世，即國內所說的全譜直讀電感耦合等離子體發射光譜儀。1993年國外生產的該類儀器進入中國市場，目前國內還沒有制造商將全譜直讀電感耦合等離子體發射光譜儀產業化。

ICP光譜儀是根據試樣中被測元素的原子或離子，在光源中被激發而產生特征輻射，通過判斷這種特征輻射波長及其強度的大小，對各元素進行定性分析和定量分析的儀器。